得益于长期坚持不懈的锻炼,陈洋也能跟上队伍从公道五路穿过经国路二段,直达tSmc晶圆十二A厂,这里是12寸超大晶圆主厂,tSmc在这里生产7nm芯片,首先要废掉的就是这里。
作为现代制造业中精度要求最变态的芯片制造产业,晶圆制造是一个微妙的过程。洁净车间必须非常干净,并且还要不断清洁。
狙击小队已经就位,丽塔、伊娃、索菲亚分别架枪 VoERE S16在东、南、西三个方向,艾米利亚与陈洋在一起,由陈洋指导目标位置。
但是陈洋看了半天,他发愁了,整个芯片加工厂外围根本看不到准确结构,他是想打掉空气过滤系统,这样正在刻蚀的所有芯片都将报废,但是治标不治本,打不掉场内的6台ASmL3400b光刻机,生产很快会继续开工,甚至用不了一周,芯片就可以源源不断继续生产下去。
陈洋叹了口气:“缇娜和兹丹卡和我进去!你们算是来着了,今天带你们去涨涨见识,开开眼界,来全球最先进的芯片生产厂看看,全世界最先进的cpU、GpU、包括Novoo的芯片都是在这里造出来的。”
“啊?那把这里毁掉之后,Novoo先生以后的芯片怎么办?”缇娜还是很关心她的Novoo先生。
“没事,他订了3千万枚最新设计的芯片,我们暂时达到了芯片设计的顶峰,我已经想得脑浆干涸,至少半年内是再也想不出来更好的芯片设计方案了,所以这里该废就废掉,艾米利亚听我指挥,整座工厂为了洁净程度,都是保持住1.25个大气压在运行,你开始在各处打枪吧,造成工厂已经失压的效果。”陈洋一边安排一边带缇娜和兹丹卡向十二A厂正门走去。
听着几声沉闷的枪声响起,顿时警铃大作,陈洋三人走到厂房弧形正门口,顿时两名安保冲了出来,还未开口,陈洋先一声训斥:“守好自己的岗位!厂区失压了!怎么回事?”
“我……不知道啊!这位先生,您是?”
陈洋手枪一亮:“科技特勤科!安排我们三人换装,我们……”他话还没说完,从大门外跑进来两个安保大喊:“失压了!安排工程师们撤离!”
陈洋神色庄重道:“我们进去!”说着带上缇娜和兹丹卡冲入进场通道,后面还在喊:“先生,胸卡呢,没有胸卡你进不去的。”结果在人脸识别门口,直接绿色放行,这下后面的声音才停下来。
他们三人走进清洁室,在抽风室内站了一分多钟,从清洁室顶部进行毫不客气的强制风淋,风力之大,陈洋感觉自己的脸都被吹干和吹变形了。
陈洋感觉他和缇娜和兹丹卡就像是被塞进了吸尘器的内部,因为很明显噪音是从他们的脚底部传来的,下面肯定有一台功率巨大的引擎带动风机抽出空气和灰尘和绒毛,出于对显卡散热技术的熟悉,陈洋对其他两人说,扇叶切动空气的音频特性表现,如果不出意外,应该下面装着的是涡轮风扇。
通过地面粘性垫子,三人通过在上面行走去除了鞋子上的污垢。
在清洁措施进行完之后,三个人直接穿上了兔子套装——包括兜帽、套装和鞋子。这里的关键是从上到下穿上套装,这样就不太可能把灰尘和微粒留在自己身上。
三人穿戴齐全“兔子套装”,然后把穿衣服时候戴着的乙烯基手套扔掉并换新。缇娜提出来一个问题:“我们不是去炸厂房吗?在这里这么认真清洁是为什么?”
陈洋笑着撇了她一眼:“为了你能进去!达不到清洁的条件,门是打不开的!你别偷懒。”
着装室内贴着一张明确的着装要求及流程规范,最后一部分是在镜子里上下仔细检查,下面说如果有同事,也可以和同事一起检查。所以陈洋他们三人相互对照着检查点反复检查了两遍,以确保进入不会因为衣着不整无法入内。
然后,气密磁力门开启的时候,陈洋听到了轻微地空气泄压的声音,想起来说工厂为了保证无尘环境,一般都会给内部形成一个相对正压的环境,但是没想到正压给得这么大,艾米利亚那几枪实在是作用微小。
经过了这样一番折腾,还没看到产线已经累得不轻的三人终于进到了晶圆十二A厂内部。
“真高啊!”缇娜没想到晶圆厂内部空间这么高大空旷,还蹦了两下,陈洋连忙说:“你动静小点,别大喊大叫的。高是因为有些机器有十几米高,尤其是光刻机。为了整条产线的自动吊舱能尽可能在一个平面下工作,很多机器的高度都必须要做调整,有些必须要提升,或使用加强梁来安装的。”
很明亮的黄色灯光,589.5nm波长,是由标准钠灯带来的光照,这个波长正好是人眼最为敏感的可视波长,同时还是晶圆硅片不太敏感的区段。光刻说到底还是在曝光,所谓刻,就是以光为刀,在硅片上雕刻出来芯片。所以经过多少年的反复实验,全球的晶圆代工厂都在使用这个标准波长的灯光来照明。
陈洋带着两人跟随芯片生产流程一步步前进,时不时看着半空中繁忙的自动吊舱在轨道上前前后后,运输着各类物品。
还有不少工程师急促地向外走去,按照流程他们需要快速离开厂房进行避险。
生产一块芯片主要分为前工序与后工序。在前工序中,一块大的圆柱形高纯度单晶硅体,先被切割成直径3分米的硅晶圆盘。之后进入“洗净工序”:用纯净水去除硅圆盘上的金属、有机物等残留物。
陈洋仰着头,看着晶圆在 FoUp(天舱系统)内以 25片为一组,在位于机器上方的吊舱高速公路上的晶圆厂周围运送。这一切都是自动协调和自动化的,因此当一台机器上的 FoUp完成时,它会被一个自动吊舱拾取并带到下一台机器,或者放回存储中等待芯片创建的下一阶段。
陈洋看了看吊舱的编号,已经是四位数了,这说明至少有几千个这样的吊舱在半空中自行运转。吊舱“高速公路”延伸了晶圆产线场地的长度,从存储到工厂再到封装。在设计之初,就考虑到路径的自我修复,自我引导。大多数FoUp都是黑色的,以便可以最大限度地减少光线,但有些机器有可以看到的透明窗口。
陈洋对这个厂区并不熟悉,只能根据经验向内摸索,抓紧找到光刻机。
这些在空中的吊舱跑得并不慢,目测比一个成年人在地上跑得快,吊舱汇集的区域就是光刻机的出片区,按照这个原理,陈洋在一台卡车后箱那么大的长方型机器面前停下了脚步,机器里面发出非常奇怪的频率很高的声音。
“嘶~~~~~噌蹭蹭噌~嗡~~嗡~~嘶~~~~~噌蹭蹭噌~嗡~~嗡~~”
光刻机的进片盖板居然需要密码才能打开,陈洋直接用蛮力扯下盖板,告诉缇娜:“瞄准那个透镜组,打烂,后面有一个像放映机灯泡一样的东西,也打烂,下面那两个方的用来托举着晶圆的东西,打烂,好了,一台光刻机就废了。”他知道告诉缇娜光源发射器什么透镜组和超精密双工件台说了也是白说,干脆简明扼要点。
结果第一台就发生险情,缇娜的电磁枪的子弹,是一颗钢珠,不知道打在光刻机什么结构上,居然半途反射回来,堪堪擦着陈洋的肩膀过去,兹丹卡连忙把两人推远,她经验丰富,加上乌兹冲锋枪是传统子弹,效果更好。
就这样他们以极快的速度摧毁了6台ASmL3400b光刻机,就在三人快跑着离开厂区的时候,身后的安保开枪了,然后他们前面也传来两声沉闷的枪响,陈洋知道艾米利亚在组织压制,他们三人跑得更快了。
刚汇合到一起,他们发现这下麻烦大了,一群看热闹的大婶围过来。
“你们是真开枪,还是打着好玩的啊,这枪蛮真的,多少钱买的啊,我买给我家小孙子去玩。”